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Guardian ™ Co-Deposition Controller
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Gleichzeitige Abscheidung von bis zu acht Materialien
Ideal für CIGS-Dünnschichten
Mit dem Guardian können Abscheidungsraten zwischen 0,1 und 10.000 Å/s gesteuert werden. Das Gerät unterstützt einen oder zwei Sensoren sowie bis zu 8 optische Eingänge und steuert bis zu 8 Abscheidungsquellen. So können bis zu 8 Materialien simultan abgeschieden werden.
Der INFICON Guardian eignet sich ideal für Anwendungen wie die Fertigung photovoltaischer Module, OLEDs und supraleitender Dünnschichten sowie für Molekularstrahlepitaxie.
Das Guardian Co-Deposition System basiert auf Elektronenstoß-Emissionsspektroskopie (Electron Impact Emission Spectroscopy, EIES). Klicken Sie hier für weitere Informationen über die EIES-Technologie.
Features auf einen Blick
- Simultane Überwachung und Steuerung der Abscheidung von bis zu 8 Materialien
- Abscheidungsraten zwischen 0,1 und 10.000 Å/s
- Integrierte EIES- und QCM-Dünnschichtprozesssteuerung
- 12 Relaisausgänge und 16 digitale Eingänge
- Windows-basierte Software für Einrichtung und Betrieb
- Kompatibel mit INFICON Sentinel®-Sensoren
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Guardian Co-Deposition Controller
English
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Guardian Configuration Guide
English
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Software:
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Software - Guardian_EIES_V5.11
English
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