Residual Gas Analyzers (RGAs)
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Restgasanalysatoren (RGAs) von INFICON werden als Diagnosewerkzeug verwendet, damit Prozesstechniker einfacher kontinuierlich den Herstellungsprozess auf Gasverunreinigungen und das Vorhandensein des gewünschten Prozessgases überwachen können.
PPM422 Plasma Process Monitor
Die Transpector®-Produktreihe von Restgasanalysatoren (Residual Gas Analyzers, RGAs)
Transpector®-Gasanalysatoren liefern genaue und zuverlässige Daten für die Vakuumprozessüberwachung, Prozessdiagnose und Leckerkennung.
Transpector 2 Gas Analysis System
liefert genaue und zuverlässige Daten zur Vakuumprozessüberwachung, Prozessdiagnose und Leckerkennung bei der Halbleiterherstellung.
Transpector HPR Gas Analysis System
Ein RGA mit konsistenter Empfindlichkeit für optimale Verunreinigungskontrolle
Transpector CPM Compact Process Monitor
Umfassende, kostengünstige Gasanalyse; dieser RGA ist ein kompakter und kostengünstiger Gasanalysator mit sämtlichen Funktionen für die lokale Überwachung komplexer Prozesse.
Transpector Software
Software zur Prozesscharakterisierung für das Transpector-Gasanalysesystem
Mobile Cart for Transpector CPM Compact Process Monitor
Als eigenständiges System arbeitender Wagen zur mobilen Problembehebung
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Transpector CPM Compact Process Monitor
Kostengünstiger Gasanalysator, ideal geeignet für die In-Situ-Überwachung von komplexen Prozessen.
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