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PPM422 Plasma Process Monitor
Der PPM422 Plasma Process Monitor ist ein differential gepumpter Massenspektrometer mit einem integrierten Energieanalysator zum Messen neutraler Partikel, positiver und negativer Ionen sowie für Energieanalysen von Ionen und neutralen Partikeln in Plasmaprozessen.

Features auf einen Blick
  • Erkennung von neutralen Partikeln sowie positiven und negativen Ionen im Plasma
  • Energieanalyse von neutralen Partikeln sowie positiven und negativen Ionen
  • Messung von Radikalen
  • Endpunkterkennung von Plasmaprozessen
  • Großer Dynamikbereich
  • Hohe Messgeschwindigkeit

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