8種類までの材料蒸着を同時にコントロール
CIGS薄膜に理想的
Guardianは蒸着率を0.1から10,000Å/秒までコントロールができます。1つか2つのセンサの操作、光入力x8まで、および蒸着ソースx8のコントロールを行い、最高8種類までの材料の同時蒸着を可能にします。
INFICON Guardianは光電池モジュール、OLED、光電池、超電導膜、およびMBEなどの適用に理想的です。
電子衝突放出スペクトロスコピー（EIES）をベースにしたGuardian同時蒸着システムEIES 技術についてさらに知るにはここをクリック
特長一覧
- 材料8種類までの蒸着を監視およびコントロール
- 蒸着率0.1から10,000Å/秒
- 統合されたEIESとQCM薄膜プロセスコントロール
- リレー出力x12とデジタル入力x16
- セットアップと操作にWindowsベースのソフトウェア
- INFICON Sentinel®対応
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Guardian Co-Deposition Controller
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Guardian Configuration Guide
English
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Software:
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Software - Guardian_EIES_V5.11
English
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