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>    残留ガス分析器   

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> リサーチ水晶振動子マイクロバランス (RQCM)
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•  Mobile Cart for Transpector CPM Compact Process Monitor
•  PPM422 Plasma Process Monitor
•  Transpector 2 Gas Analysis System
•  Transpector 2 Gas Analysis System
•  Transpector 2 Gas Analysis System
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•  Transpector HPR Gas Analysis System
•  Transpector Software
   
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残留ガス分析計 (RGAs)

INFICONの残留ガス分析器(RGAs)は、汚染ガスの存在をつきとめ、希望のプロセスガスの存在を照合しながら製造プロセスを継続的に監視する、プロセスエンジニアのための支援診断ツールとして使用されます。

PPM422プラズマプロセスモニター

Transpector® 残留ガス分析器(RGAs)群
Transpector® ガス分析器は、真空プロセスの監視、プロセス、診断、リーク検出において、正確で信頼できるデータを提供します。

Transpector 2ガス分析システム
優れた感度で汚染をコントロール。このRGAは半導体製造において真空プロセスの監視、プロセス診断、およびリーク検出の正確かつ信頼性の高いデータを提供します。

Transpector HPRガス分析システム
安定した感度を備えたRGAで最適な汚染コントロール

Transpector CPMコンパクトプロセスモニター
Comprehensive Gas Analysis Made Affordable; this RGA is a full-featured, compact and economical gas analyzer that's ideally suited for in situ monitoring of complex processes.

Transpector ソフトウェア
Process Characterization Software For The Transpector Gas Analysis System

Transpector CPMコンパクトプロセスモニターの可動型カート
Self-Contained Cart for Mobile Troubleshooting

 



Featured Product

Transpector 2ガス分析システム- 優れた感度で汚染コントロール




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Transpector CPMコンパクトプロセスモニター
複雑なプロセスの//in Situ//監視に理想的にマッチする、経済的なガス分析器

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