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>    残留ガス分析器    >   PPM422 Plasma Process Monitor   

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PPM422 プラズマプロセスモニター
PPM422プラズマプロセスモニターは正と負のイオン計測を行うため、およびプラズマプロセスのイオンと中性粒子のエネルギー分析器のため、エネルギー分析器が統合された質量分析器です。

特長一覧
  • プラズマから中性粒子、正と負のイオンを検出
  • 中性粒子、正と負のイオンのエネルギー分析
  • ラジカルの計測
  • プラズマプロセスの終止点検出
  • 大きなダイナミックレンジ
  • 高速な計測

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