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リサーチ水晶振動子マイクロバランス (RQCM)
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QCMは、高い感度、リアルタイム計測機能、すばやい反応と使いやすさで、リサーチ作業において大きな利点を実証してきました。用途には、2～3例を挙げると、腐食、吸着、ガス感知、ポリマー進化などが含まれます。INFICONは、PCベースのデータログソフトウェア付きの完璧なQCMリサーチシステムから、それぞれの全部品まですべてを提供します。
QCMベーシック
QCMリサーチシステムは基本的に、リアルタイムで水晶振動子上の非常に小さな質量変化を計測する能力を持つ質量感知装置です。この水晶振動子感知装置は、周波数転移と表面に蒸着した質量の間に、とてもよく定義された関係を持ちます。結果としてQCMリサーチは、典型的な質量と膜厚の計測システムを越える二つの主要な利点を持ちます。まず、QCMはリアルタイムの計測をしますが、これはセンサ振動子上の質量変化を安定して計測するということです。これは、終了結果のみを伝え、プロセス中に何が起こっているかを伝えない“事後”計測装置と比べると、非常に大きな利点となりえます。2つ目の利点はQCMの驚くべき感度です。水晶振動子は原子の単一層というほんの少量の質量まで計測することが可能です。
どの機器が必須なのか?
典型的なQCMシステムに含まれるものは、感知装置である水晶振動子、振動子を支え、振動子の電極に電子接続する振動子ホルダー、（通常はオシレータと言われる）振動子を操作するいくつかのタイプの電子回路、オシレータの出力信号を取り、計測結果を表示する装置です。INFICONは、完璧なQCMシステムとリサーチ用途にデザインされたそれぞれの構成部品の両方を提供します。
Maxtek RQCM水晶振動子マイクロバランスリサーチシステム
Maxtek PLO-10iフェーズロックオシレータ
Maxtek振動子ホルダー/フローセル
水晶振動子
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