잔류 가스 분석기(RGA)

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누출 검출기

연구용 석영 크리스탈 마이크로밸런스(RQCM)

잔류 가스 분석기

•	Mobile Cart for Transpector CPM Compact Process Monitor
•	PPM422 Plasma Process Monitor
•	Transpector 2 Gas Analysis System
•	Transpector 2 Gas Analysis System
•	Transpector 2 Gas Analysis System
•	Transpector 2 Gas Analysis System
•	Transpector CPM
•	Transpector HPR Gas Analysis System
•	Transpector Software

진공 게이지

진공 밸브 및 가스 주입 시스템

진공 컴포넌트

Guardian 공증착 컨트롤러

RF 감지 기술

잔류 가스 분석기(RGA)

INFICON 잔류 가스 분석기(RGA)는 오염 가스의 존재와 원하는 공정 가스의 존재를 확인하기 위해 제조 공정을 연속 감시하는 공정 엔지니어를 지원하는 진단 도구로 사용됩니다.

PPM422 플라즈마 공정 모니터

Transpector® 잔류 가스 분석기(RGA) 제품군
Transpector® 가스 분석기는 진공 공정 감시, 공정 진단 및 누출 검출을 위해 정확하고 신뢰할 수 있는 데이터를 제공합니다.

Transpector 2 가스 분석 시스템
오염 통제를 위한 탁월한 감도; RGA는 반도체 제조 시 진공 공정 감시, 공정 진단 및 누출 검출을 위한 정확하고 신뢰할 수 있는 데이터를 제공합니다.

Transpector HPR 가스 분석 시스템
최적의 오염 통제를 위한 일관된 감도를 지닌 RGA

Transpector CPM 컴팩트 공정 모니터
알맞은 가격에 포괄적인 가스 분석; 이 RGA는 복잡한 반도체 공정의 현장 감시를 위한 완전한 기능을 갖춘 알맞은 가격의 소형 가스 분석기입니다.

Transpector 소프트웨어
Transpector 가스 분석 시스템용 공정 특성화 소프트웨어

Transpector CPM 컴팩트 공정 모니터용 모바일 카트
이동 문제해결을 위한 자급식 카트