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>    잔류 가스 분석기    >   PPM422 Plasma Process Monitor   

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•  Mobile Cart for Transpector CPM Compact Process Monitor
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> RF 감지 기술



PPM422 플라즈마 공정 모니터
PPM422 플라즈마 공정 모니터는 일체형 에너지 분석기가 있는 차동 펌프 질량분석기로서, 중성 입자, 양이온 및 음이온 측정과 플라즈마 공정에서 이온 및 중성 입자의 에너지 분석에 사용됩니다.

특징 요약
  • 플라즈마에서 중성 입자와 양이온 및 음이온의 검출
  • 중성 입자와 양이온 및 음이온의 에너지 분석
  • 라디칼의 측정
  • 플라즈마 공정의 엔드포인트 검출
  • 큰 동작 범위
  • 높은 측정 속도

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