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PPM422 等离子过程监控器
PPM422 等离子过程监控器是一种集成有能量分析器的差分泵质谱仪，可用于测量中性粒子、正离子和负离子，以及对等离子加工过程中的离子和中性粒子进行能量分析。

功能概览
  • 检测等离子体中的中性粒子和正负离子
  • 中性粒子和正负离子能量分析
  • 自由基测量
  • 等离子过程的终点检测
  • 宽泛的动态量程
  • 高测量速度

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